比表面積は通常ガス吸着等温線からBET理論（多分子層吸着理論）により解析されます。BET理論は固体表面の強い吸着サイトから吸着が始まり、その後圧力の上昇に伴いその次に強い吸着サイトに吸着していきます。また同時に2層目や3層目吸着が起こることをモデルとしています。

●BET理論

このBET理論はLangmuirの単分子層吸着理論を多分子層吸着理論に拡張し得られました。

この理論はII・IV型等温線の場合、相対圧0.05～0.35の間でよく成り立ちその間のデータを最小二乗法し傾きと切片より単分子層吸着量（Vm）とｃパラメータを求める。ｃパラメータは分子の吸着力を示しその値が正になるように最小二乗法しなければならない。

●IV型吸着等温線とBET-plot

このVmと吸着断面積（σ）より比表面積が求められる。