マイクロ孔の解析や表面分析において超高真空下での吸着等温線測定の重要性が高くなっている。現在ターボ分子ポンプに代表される様にクリーンな真空を得ることは技術的に可能である。しかし定容量法ガス吸着装置は複数のバルブと配管・ジョイントを有する為、サンプル部を高真空に到達することは困難である。下図に電磁弁と空気作動弁の放出ガスの違いを示す。電磁弁はシールとしてゴム材を用いるためそれからの放出ガスが顕著であることが分かる。BELSORPシリーズは空気作動弁と高真空排気システムを組み合わせ内部放出ガスを極限まで下げることに成功しました。この高品質の部品採用によりごく低圧に置ける吸着等温線測定精度が高まりマイクロ孔解析の信頼性が高まりました。

●バルブからの放出ガス