ガス吸着・水蒸気吸着

ナノセンシング吸着量測定装置
BELQCM

水晶振動子重量法は、検出感度の高さから微少質量変化測定に利用されています。本装置は水晶振動子マイクロバランス法を採用し、ナノグラムオーダーの微少吸着量の測定を可能としました。
振動子に薄膜を形成し、ガス/蒸気の吸着により変化する振動数から質量変化を検出し、 吸着量を測定します。これより、従来の方法では測定できなかった微少な吸着挙動を詳細に評価することが可能となりました。